20世紀(jì)50年代，隨著航天、宇航的發(fā)展，精密超精密加工技術(shù)首先在美國(guó)被提出，并由于得到了政府和軍方的財(cái)政支持而迅速發(fā)展。英國(guó)從60年代起開始研究超精密加工技術(shù)，現(xiàn)已成立了國(guó)家納米技術(shù)戰(zhàn)略委員會(huì)，正在執(zhí)行國(guó)家納米技術(shù)研究計(jì)劃，德國(guó)和瑞士也以生產(chǎn)精密加工設(shè)備聞名。1992年后，歐洲實(shí)施了一系列的聯(lián)合研究與發(fā)展計(jì)劃，加強(qiáng)和推動(dòng)了精密超精密加工技術(shù)的發(fā)展。到了20世紀(jì)70年代，日本也成立了超精密加工技術(shù)委員會(huì)并制定了相應(yīng)發(fā)展規(guī)劃，將該技術(shù)列入高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。

　　近年來(lái)，美國(guó)開始實(shí)施了“微米和納米級(jí)技術(shù)”國(guó)家關(guān)鍵技術(shù)計(jì)劃，國(guó)防部成立了特別委員會(huì)，統(tǒng)一協(xié)調(diào)研究工作。同時(shí)利用這些超精密加工設(shè)備進(jìn)行了陶瓷、硬質(zhì)合金、玻璃和塑料等材料不同形狀和種類零件的超精密加工，應(yīng)用于航空、航天、半導(dǎo)體、能源、醫(yī)療器械等行業(yè)。

　　國(guó)內(nèi)真正系統(tǒng)地提出超精密加工技術(shù)的概念是從20世紀(jì)80年代~90年代初，由于航空、航天等軍工行業(yè)的發(fā)展對(duì)零部件的加工精度和表面質(zhì)量都提出了更高的要求，這些軍工行業(yè)投入了資金支持行業(yè)內(nèi)的研究所和高校開始進(jìn)行超精密加工技術(shù)基礎(chǔ)研究。由于當(dāng)時(shí)超精密加工技術(shù)屬于軍用技術(shù)，無(wú)論從設(shè)備還是工藝等方面，國(guó)外都實(shí)施了技術(shù)封鎖，所以國(guó)內(nèi)超精密加工技術(shù)的開展基本都是從超精密加工設(shè)備的研究開始。由于組成超精密加工設(shè)備的基礎(chǔ)是超精密元部件，包括空氣靜壓主軸及導(dǎo)軌、液體靜壓主軸及導(dǎo)軌等，所以各家單位也正是以超精密基礎(chǔ)元部件及超精密切削加工用的天然金剛石刀具等為突破口，并很快就取得了一些進(jìn)展。哈爾濱工業(yè)大學(xué)、北京航空精密機(jī)械研究所等單位陸續(xù)研制了超精密主軸及導(dǎo)軌等零部件，并進(jìn)行了天然金剛石超精密切削刀具刃磨機(jī)理及工藝研究，同時(shí)陸續(xù)搭建了一些結(jié)構(gòu)功能簡(jiǎn)單的超精密車床、超精密鏜床等超精密加工設(shè)備，開始進(jìn)行超精密切削工藝實(shí)驗(yàn)。